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邵沖云
邵沖云
中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所副研究員

邵沖云,男,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所副研究員,主要從事稀土摻雜石英玻璃的結(jié)構(gòu)缺陷研究。以第一/通訊作者發(fā)表SCI論文20余篇。獲得授權(quán)專利5項(xiàng)。參與2本專著編寫。擔(dān)任多個(gè)期刊審稿人。主持先導(dǎo)B課題、XX國(guó)防課題、國(guó)自然、北斗專項(xiàng)子課題、上海市面上等科研項(xiàng)目。參與國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)自然、xx重大國(guó)防項(xiàng)目等科研項(xiàng)目。榮獲2020年上海市超級(jí)博士后、2020年上海市揚(yáng)帆計(jì)劃、2022年上海市技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)、2023年尚光青年人才等殊榮。


演講摘要:

熔石英玻璃具有深紫外透過率高、本征應(yīng)力雙折射低、抗激光損傷閾值高等性能優(yōu)勢(shì),是DUV光刻機(jī)照明系統(tǒng)、物鏡系統(tǒng)及光掩膜版中不可或缺的光學(xué)材料。本報(bào)告將簡(jiǎn)要介紹DUV光刻機(jī)對(duì)熔石英玻璃的性能要求,重點(diǎn)介紹熔石英玻璃在DUV光刻機(jī)應(yīng)用過程中面臨的挑戰(zhàn)及其解決方案,以及深紫外激光輻照下熔石英玻璃的光學(xué)性能退化機(jī)理。


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